技术参数: 仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg 桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸盐玻璃作为标准配置) 拉出式抽屉:样品托盘为抽拉式 等离子输出:射频电源-固态150瓦射频峰值,通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz. (备注:所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频率) 真空测量范围:完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar 数字计时单元:99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。 双气体流控制:双气体针阀控制,可选1或2或两种气体(校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.) 电源:230V 50Hz (包括泵zei大电流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zei大电流10 Amp) Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar) 真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil 'Fomblin' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr