仪器简介：
英国Quorum/Emitech溅射离子镀膜仪作为世界顶级制样设备,在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的样品制备领域中应用非常广泛。
特点
•低电压溅射
•高分辨率精细涂层(金颗粒达2 nm)
•均匀厚度沉积(扫描电镜一般厚度为20nm 或200A)
•165 mm(6英寸)腔室
•无需冷却样品台
•精确的再次涂层
•膜厚度重复性好
•容易装载或卸载样品
•可预设沉积厚度
仪器性能指标
1.Instrument Case - 450mm W x 350mm D x 175mm H 仪器尺寸450mm W x 350mm D x 175mm H
2.Work Chamber - Borosilicate Glass 165mm Dia x 125mm H
工作腔室-硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H
3.Safety Shield