FBAR用AlN薄膜测试系统-价格-分析测试百科网仪器谱手机站

产品描述

FBAR用AlN薄膜研究利器---德国aixACCT公司aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测量系统

国际上FBAR用AlN薄膜的研究如火如荼，各国科学家都在下大力气进行将AlN作为压电层的薄膜体声波谐振器的研究。然而大家对材料往往结构表征丰富，而电学、机电性能表征不足。为此，德国aixACCT公司基于数十年对铁电压电热释电综合测试系统的研究基础上，开发出了aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测量系统。

aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪是针对于1-8英寸晶圆上的MEMS器件的铁电压电性能测试，用的是双光束激光干涉仪的方法非接触式测试。

分辨率：≤1pm（X晶向的石英）

测量范围：5pm to +/-25nm

aixDBLI的主要构成和功能有：

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测试功能：

机电大信号应变、极化、压电系数、

小信号介电常数。

疲劳和电性及机械性能可靠性

样品测试：

极化曲线和位移曲线。

小信号电容及压电系数。