产品介绍
       μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
        NanoFocus μsurf basic机台功能齐全，结构紧凑，性价比高，并拥有超高光学分辨率和zei全面广泛的三维表面形貌分析能力。NanoFocus μsurf basic不仅是一台灵活的三维共聚焦显微镜，聚合物、陶瓷、金属或复合等材料都可以检测，包括透明表面以及反光表面的样品。同时，炮筒式的物镜，让您不再因为测量要求的不同而不断频繁地更换镜头，所有的物镜安装在一个旋转头上，只需转动测量头即可选择放大的物镜倍数。


应用
μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等;
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等
半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计
太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等
纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量
螺纹：螺栓螺纹的表面粗糙度以及三维形貌
表面摩擦磨损：当物体表面被摩擦，摩擦磨损程度的测量
电阻：电阻的表面三维形貌

技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.7μm
Z方向扫描范围：75mm，分辨率：20nm
物镜：10X、20X、50X (可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能，
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD)
重量：28KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)


设备咨询联系人:
Ronnie Chen(上海巨纳) +86-21-61533166 nanofocus@163.com
Frank Ding(NanoFocus中国) +86******frankding@foxmail.com