AF200 型自动聚焦激光测量系统
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AF200 型自动聚焦激光测量系统

产品属性

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  • 型号AF200
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产品描述
AF 200微型自动聚焦激光测量系统
    德国BMT公司生产的AF200自聚焦测头系统,可替代现有传统的位移和粗糙度测头。实现快速非接触测量表面形貌,粗糙度以及精密位移。
    激光测量光束借助于物镜聚焦于物体表面,物镜的位置连续可调,激光束的焦点总是与物体表面重合,可同时测量表面轮廓和局域反射光。
    AFS传感器具有表面复现度高的特点,传感器可配备微型照相机适配器,以便能够直接通过物镜对表面片段直接观察,使激光光束精密定位。特别开发、高度集成的BMT-IC技术,传感器热漂移极低。高倍率孔径物镜,保证仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。

主要用途: 
◆  具有完整表面复现的表面粗糙度和轮廓测量
◆  精密位移测量
◆  微机械零件的尺寸测量
◆  金相测量
◆  振动测量
◆  厚度测量
◆  微小区域内直线度、平面度、园弧半径的测量(如转位刀片刃口、金刚石刀具)
 
主要特点:
◆  非接触式表面轮廓测量、反射率的测量、垂直和横向的尺寸测量
◆  BMT-IC专利技术传感器
◆  微型化的传感器
◆  分辨率1nm
◆  测量范围2000µm
◆  光斑直径< 1µm
◆  适用于制造业所有粗糙度测量
◆  连续变焦  
      
主要优点:
◆  在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量                
◆  测量结果与表面结构无关    
◆  数据采集和评估可归并到已有的软件中
◆  具有可组装性,可组装到已有的系统中
   
 
技术数据: 
型    号
AFS 1 传感器
AFS 2传感器
TFS传感器
测量范围nm
±500 / ±50
±1000 / ±100
±500 / ±50
垂直分辨率nm
1
1
 
工作距离mm
2
2
13
激光班直径(约)µm
0.5
0.5
1
zei大测量频率* kHz
20
20
20
zei大视场倾角** °
20
20
15
激光波长nm
635
635
635
激光等级
1
1
1
外形尺寸mm
52 x 25 x 58
52 x 25 x 58
52 x 25 x 58
重量(约)g
100
100
100
 

佰汇兴业(北京)科技有限公司

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