型 号 | AFS 1 传感器 | AFS 2传感器 | TFS传感器 |
测量范围nm | ±500 / ±50 | ±1000 / ±100 | ±500 / ±50 |
垂直分辨率nm | 1 | 1 | |
工作距离mm | 2 | 2 | 13 |
激光班直径(约)µm | 0.5 | 0.5 | 1 |
zei大测量频率* kHz | 20 | 20 | 20 |
zei大视场倾角** ° | 20 | 20 | 15 |
激光波长nm | 635 | 635 | 635 |
激光等级 | 1 | 1 | 1 |
外形尺寸mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
重量(约)g | 100 | 100 | 100 |