本公司为您定制专业的超高真空（UHV）系统，包括：超高真空沉积系统、超高真空表面分析系统、超高真空表征系统。

我们曾经定制过的系统包括：

1）X射线光电子能谱（XPS）或电子光谱化学分析仪（ESCA）系统（带in-situ SMOKE）

2）扫描俄歇显微镜系统（Scanning Auger Microscope System）

3）二次离子质谱分析（TOM SIMS）

4）超高真空离子束辅助沉积系统（UHV ion beam assist deposition (IBAD) system）

5）超高真空热处理系统（High vacuum heating system for 8” wafer @ 1200 C）

6）超高真空电子束沉积系统（UHV e-beam evaporation system）

7）超高真空脉冲激光沉积系统（UHV  PLD system）

8）超高真空溅射系统（UHV sputtering system）

我们的超高真空系统的设计原则：

1）结构紧凑

    a.腔体尺寸优化，易于装配

    b.高真空泵效率

    c.低制造和维护成本

2）完全按照客户定制

    a.完全按需提供

    b.现有设备改造

3）高品质

    关键部件来自著名配件供应商（Pfeiffer, MDC, Huntington, MeiVac, Angstrom Sciences, Variant, VAT, Heat Wave Lab, Transfer Engineering, …, etc.）

欢迎广大有特殊需求或者经费有限的超高真空客户跟我们合作。希望我们能为您的科研工作提供完美的解决方案。