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本公司提供超高真空溅射系统。
规格：
1）可装配zei多6个 4"或者1个 8"溅射枪 2）可装配6个热蒸发源 3）DC/RF (1kW/600 W)电源 4）基本真空：5x10-9 torr 5）可选更高真空
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光学轮廓仪WIVS-I
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产品描述
