软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

• 产品规格

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

• 分光谱仪艙安装位置：

• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

• FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

• 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

• * 从接口包括CCD的距离

• 分光谱仪重量　25kg

• 适用机型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F