电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍、由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统5部分构成，如果细分的话：主体部分是电子透镜和显像记录系统，由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、 物镜、衍射镜、中间镜、 投影镜、荧光屏和照相机。

TESCAN TENSOR

高度集成、旋进辅助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速电压、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于多模态表征功能材料、薄膜、天然和合成颗粒的纳米形态、化学和结构特性，具有出色的4D-STEM 性能和前所未有的普遍适用性。

测量功能:

TESCAN TENSOR 为材料科学家、半导体研发和失效分析人员以及晶体学家提供了众多已预设的STEM、4D- STEM和断层扫描测量的参数:

Ø  STEM BF, ADF 和 HAADF 成像

Ø  STEM 晶格像

Ø  成分 (能谱分析和元素面扫)

Ø  取向 / 物相分布成像

Ø  应力分布图

Ø  虚拟 STEM

Ø  STEM 和 EDS 重构  

Ø  衍射重构

性能:

TESCAN 从零开始开发了全新的 TENSOR，优化了STEM 扫描的同步功能：

Ø  混合像素的直接电子衍射相机衍射成像

Ø  2个无窗EDS探测器(2个大立体角)进行快速地能谱采集

Ø  快速，旋进电子束频率高达 72kHz

Ø  一体化的静电束闸

Ø  近实时4D-STEM数据分析、处理和可视化软件(TESCAN Explore)

Ø  都集成在模块化、中高压、近超高真 (样品区域真空达到10^-6 Pa) 的肖特基场发射电子枪上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一台可以像扫描电镜一样易于使用的STEM。它可以让使用者把时间花在样品分析上，而不是浪费于参数调整。新手用户只需要最少时间的训练，就能很快获得结果。有经验的用户可以使用选配的 API 开发适合自己的测量功能，并通过 HyperSpy、LiberTEM 或  y4DSTEM 等开放平台的解决方案导出 TENSOR 4D- STEM 的数据集进行离线处理。