ASMEC Advanced Surface Mechanics GmbH（ASMEC 高级表面力学有限公司）由Thomas Chudoba 博士创办于2003 年。公司主要提供用于微米级到纳米级表面力学性能特性表征和分析的硬件设备、软件和服务。创始人Thomas Chudoba 博士在表面力学、纳米压痕领域具有多年经验，是该领域公认的专家。

ASMEC 公司与接触力学、材料研究领域的领先科学家和研究所保持着紧密的联系，同时也与弗劳恩霍夫协会不同的机构及企业，如博世、宝马、欧洲宇航防务集团等参与到国家级科研项目或国际科研项目中。 
 

UNAT-SEM 真空纳米压痕仪

ASMEC Advanced Surface Mechanics GmbH（ASMEC 高级表面力学有限公司）由Thomas Chudoba 博士创办于2003 年。公司主要提供用于微米级到纳米级表面力学性能特性表征和分析的硬件设备、软件和服务。创始人Thomas Chudoba 博士在表面力学、纳米压痕领域具有多年经验，是该领域公认的专家。 
 

1. zei大测量位移量 :± 50 µm

2. 位移量解析 : 0.05 nm

3. zei大加载荷重: ± 500 mN

4. 荷重解析: < 0.2 µN

5. Piezo actuator 移动量: > 100 µm

6. Piezo actuator zei大电压: ± 200 V

7. 机台可旋转角度: 45°

8. 可以扩充：微拉伸压缩测试

 

实际安装情形	Micro Cantilever弯曲测试
使用Berkovick压子在镀有800nm  TiN的铜柱上测试情形	压子接近试片及测试情形