产品描述
仪器简介：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～30SLM | |
控制范围 | 2～100％F.S. | |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |
准确度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
线性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重复精度 | ±0.2％F.S. | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度范围 | 5～45℃ | |
工作压差 | ≤10SLM | 0.2～0.8MPa |
＞10SLM | 0.2～0.6MPa | |
耐压 | 10MPa | |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
接头选择 | VCR | 1/4” |
Swagelok | 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm | |
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
抗电磁干扰 | CE | |
重量 | 1.2Kg | |
主要特点：
★高耐压性
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头
★CE认证，国际兼容
