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In-situ series 在线椭偏仪
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In-situ series 在线椭偏仪
在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。
PIPES指数：7.9用户：应用：

型号型号：In-situ series

品牌品牌：堀场HORIBA

产地产地：法国

HORIBA科学仪器事业部

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核心参数
产地： 欧洲
供应商性质： 生产商
产地类别： 进口
价格范围：
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产品描述

在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。


技术参数：

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化


主要特点：

将激发和探测头引入生产设备，可实现：

· 动态模式:实时监测膜厚变化

· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分


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