电子束入射到样品上，即可用光学方法接收并分析阴极发光（CL），从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法，结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的独特分析工具。

HCLUE是一款基于反射镜耦合优化的CL系统，结合了Jobin Yvon光谱技术制造的光谱仪模块，具有高灵敏度性能，适用于弱信号测量。可同时配备两个探测器，以获得更大光谱范围。

原理图

主要特点：

● 反射镜直接耦合

● 高灵敏度

● 扫描成像、线扫描、点测量

● 多种光栅选项

● 多种焦长光谱仪选项：320mm-550mm

● 可配双探测器以获得zei大光谱范围：185nm-2500nm

重点应用领域：

    阴极发光光谱仪（CL）是用来表征材料中的缺陷，元素和杂质追踪的强大分析工具，广泛适用于各个应用领域。

1、材料科学

● 半导体和光电材料

● 介电/陶瓷   

● 氧化物膜           

● 玻璃

2、矿物、地质

● 碳酸岩       

● 晶体   

● 金刚石    

● 锆石、方解石、白云石

3、生命科学

4、公安

CL光谱及成像：

■CL光谱：使用CL测量光谱时，可在电镜下观察并选择待测样品区域。	■快速CL成像：将扫描电子束与您的光谱仪同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品，测量中使用了超快SWIFTTM成像模式。
矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统，配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据	左图：使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中图：电镜下的样品图像。figure 2, SE image 右图：对应的光谱，其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB)