堀场HORIBA 智能型全自动拉曼光谱仪XploRA PLUS可用于测定半导体4H-SiC，适用于载流子浓度和厚度信息项目。并且参考多项行业标准Depth Profiling of Ion-Implanted 4H–SiC Using Confocal Raman Spectroscopy。可应用于电子/半导体行业领域。

1、利用共聚焦拉曼进行分析时，不同的激发光可以检测不同浓度的载流子信息，比如325 nm激光辐照可以检测低浓度载流子信息；

除此之外， XploRA PLUS还具有无与伦比的扩展性，例如偏振拉曼、颗粒分析以及拉曼AFM联用等。

特征： 

· SWIFT^TM 超快速成像功能
· 高灵敏度
· 真共焦性能
· 完整光学显微镜性能
· 优化分辨率，多种采谱范围
· HORIBA独有的OneClick拉曼分析功能
· NIST（美国国家标准技术研究所）认证，专利自动校准技术
· 卓越的光学稳定性——提供可靠的长期检测
· 自动化操作

系统扩展：

· 拉曼AFM联用及TERS（针尖增强拉曼）
· 多个激发波长——适用于各类样品及优化实验结果
· 专业拉曼数据库——快速鉴定和分析
· ParticleFinder——智能颗粒统计和化学分析模块

XploRA PLUS是一款智能型的全自动显微拉曼系统，它集众多独特功能于一身，不仅性能卓越，而且使用便捷、分析快速。非常适合多用户操作以及多种样品的切换分析，是研究工作和分析中心的理想选择。

XploRA PLUS配备独有的SWIFT快速成像功能，可以实现超快速的共焦拉曼成像，是普通成像速度的10倍。真共焦设计使得它即使在超快速成像的条件下也能保证高品质的成像质量和空间分辨率。