型号：JBX-3050MV
品牌：日本电子
产地：日本
| 产地： | 亚洲 |
|---|---|
| 供应商性质： | 生产商 |
| 产地类别： | 进口 |
| 价格范围： | 30万-50万 |
JBX-3050MV 电子束光刻系统
JBX-3050MV 是用于制作45nm～32nm 节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。 zei先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。 是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统｡
产品特点：
JBX-3050MV 是用于制作45nm～32nm 节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。
zei先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。
是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统
利用步进重复式曝光的优点，结合曝光剂量调整功能及重叠曝光等功能，能支持下一代掩模版/中间掩模版（mask/reticle）图形制作所需要的多种补偿。
产品规格：
| 拼接精度 | ≦±3.8 nm |
| 套刻精度 | ≦±7 nm |
