中图仪器WD4000晶圆几何形貌测量系统
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中图仪器WD4000晶圆几何形貌测量系统

产品属性

  • 品牌中图仪器
  • 产地深圳
  • 型号WD4000
  • 关注度3
  • 信息完整度
  • 产地中国大陆
  • 供应商性质生产商
  • 产地类别国产
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产品描述

详细信息

一、产品简介

  WD4000晶圆几何形貌测量系统可以在一个测量系统中自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、微纳三维形貌。使用光谱共焦技术测量晶圆厚度、TTV、BOW、 WARP等参数,同时生成Mapping图;采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像,显示2D剖面图和3D立体彩色视图,高效分析表面的2D、3D参数。

图片.pngWD4000晶圆几何形貌测量系统可广泛应用于Wafer制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

 

二、产品优势

1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量

◆ 集成厚度、测量模组和三维形貌测量模组,使用一台机器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三维形貌的测量。

 

2、高精度厚度测量技术

◆  采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。

◆ 带多点传感器孔和静电放电涂层的钢制真空吸盘, 晶圆规格最大可支持至 12寸。

◆ 采用点地图技术,可编程多点自动测量。

 

3、高精度三维形貌测量技术

◆ 采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法,Z向分辨力最高可到0.1nm;

◆ 独特隔振设计极大降低地面振动噪声和空气中声波振动噪声,获得极高的测量重复性。

◆ 机器视觉技术检测图像Mark点,虚拟夹具摆正样品,可对多点形貌进行自动化连续测量。

 

4、大行程高速龙门结构平台

◆ 大行程龙门结构(400x400 x75mm),最大移动速度500mm/s。

◆ 高精度花岗岩基座和横梁,整体结构稳定、可靠。

◆ 关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动,搭配分辨率0.1μm的光栅系

统,保证设备的高精度、高效率。

 

5、操作简单、轻松无忧

◆ 集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准备工作。

◆ 双重防撞设计,避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。

◆ 电动物镜切换让观察变得快速和简单。


深圳市中图仪器股份有限公司

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