多通道自动化霍尔测试系统,MAS-M91-HALL (Multi channel Auto hall effect measurement System)可在电磁场、液氮环境(77K)下,对多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和晶圆片等多种类型样品进行自动化测试,以获取样品的霍尔参数,包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等,填补了传统的霍尔测试仪只能测量制备成型后样品的空白。
系统软件部分可以实现自动化控制M91霍尔测试、磁场大小和样品杆位移等,支持测试数据的导出。
多通道霍尔测试系统的特点
1、具有行业先进的快速霍尔效应测试功能和数据分析功能,大大降低测量时间;
2、矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品;
3、可定制电磁铁能够实现大的磁场均匀区,适用于大样品;
4、具有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间和精确、快速零磁场控制功能;
5、具有自动进样功能,可支持重达1kg待测样品自动化进样;
6、多种样品卡可选,可测圆柱型晶锭、D型晶锭、晶圆片(6寸、4寸和2寸)等各形各尺寸样品;
7、具有数据采集、整理、分析、输出功能,同时具备报告定制和导出功能;
多通道霍尔测试系统的组成与功能
1、霍尔测试系统
2、磁场控制系统
3、样品杆运动控制系统
4、矩阵开关电极选择系统
5、液氮低温样品槽
6、样品卡测试组件
矩阵开关电极选择系统