全自动磁控离子溅射仪被应用于机械加工行业中提高涂层产品的寿命寿命。因为溅射磁控镀膜能够有效提高表面硬度、韧性、耐磨抗损以及耐化学侵蚀、耐高温,从而达到提高产品寿命的作用;
产品特点
液晶显示屏简便操作
自动抽真空做样
自动放气
溅射电流范围大
溅射效率高
颗粒度小
样品表面无温升
适用温度敏感性样品
应用领域
放置手套箱内,用于易污染、易氧化需要保护的样品制备
技术指标
溅射电流:5-45mA
工作方式:全自动磁控
溅射电压:600V
靶材:金、铂(标配、二选一)
真空度:<1Pa
真空泵:油封式旋片泵1L/s(可选配涡旋干泵)
产品特性
本仪器主要用于扫描电镜样品制备、电极材料研究等领域,液晶显示屏简便操作、自动抽真空做样、自动放气、溅射电流范围大、溅射效率高、颗粒度小、样品表面无温升,适用温度敏感性样品等特点,可适用金、铂、银、钛、铬、铝、铜、铅等常用靶材。