真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。更限压力(更限真空)从粗真空到10-12Pa以上的更高真空范围。应用于科学研究、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、电子器件

产品特点

能满足较恶劣的使用环境要求（高温、粉尘等）

性能稳定，使用寿命长

维护保养简单，方便操作

适用范围广，性能稳定

进气口法兰：DN400 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN100

抽速速率（L/s）：N2：3600 He：2750 H2：1300 Ar：3300

压缩比：N2：1E8 He：1E3 H2：1E2 Ar：1E8

极限压强（Pa）：2E-6

最大连续前级压强（Pa）：100

最大前级压强（Pa）：N2：300

最大气载量（sccm）：N2：5500 He：4000 H2：3200 Ar：2100

额定转速（RPM）：13500

启动时间（min）：≤18

冷却方式：水冷

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤1100

适配电源型号：FD-III、TCDP-III

建议前级泵（L/s）：30

重量（kg）：130

尺寸

产品特性