型号:SEMILAB-全光谱椭偏仪GES5E
品牌:泰思肯
产地:匈牙利
产地: | 欧洲 |
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供应商性质: | 总代理 |
产地类别: | 进口 |
价格范围: | 10万-30万 |
产品特点
业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商 |
业界标准测试机构定标设备,参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准 |
非接触、无损测试所测样品无损伤的测量 |
业界最宽测试光谱范围,选配135nm-25um,并可自动切换快速探测模式和高精度探测模式 |
测试功能延展性强,并支持后续升级服务 |
定期免费升级SOPRA材料数据库 |
开放光学模型拟合分析过程,方便用户优化测试菜单 |
主要应用
光伏行业:晶硅电池减反膜、薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池 |
半导体行业:High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺 |
平板显示行业:TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片 |
光电行业:光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶 |
主要技术指标
测试速度:<1 sec (快速测试模式) |
测量光谱分辨率:<0.5nm@633nm (高分辨率测试模式) |
最大样品尺寸: 300mm |
厚度测量范围:0.01nm-50um |
厚度测试精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si |
折射率测试精度:0.002 @120nm SiO2 on Si |