KEYENCE 基恩士 形状测量激光显微系统全新 VK-X3000
搭载白光干涉功能
纳米/微米/毫米一台即可完成测量
超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对
一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米
一台即可了解希望获取的信息
VK-X3000 系列形状测量激光显微系统
采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。
从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖
42 至 28800 倍
无需对焦
适用于多种样品
非接触瞬间扫描形状
不会损伤目标物
纳米级别也可准确测量
透明体和坡度大的目标物也可测量
希望了解的表面“差异”一目了然
定量化微小形状
轻松比较多个样品
粗糙度分析
可根据样品工件的材料、形状和测量范围,选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,进行高精度测量。
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
最大扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备,即可同时掌握整体形状和局部形状。
适用于各种目标物的测量能力
超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对
一台即可测量纳米 / 微米 / 毫米
三重扫描方式
一台设备可使用激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉等三种不同的扫描原理。根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式,进行高精度测量。
一台即可了解希望获取的信息
292 种分析工具
测量软件不仅可以测量高度或尺寸,还能通过多样的分析工具按照用户的想法实现进一步的分析。
激光显微系统的基本特点