产地:日本; 品牌:日立
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点击查看下载故障分析导航系统 ()日立FIB-SEM SU8220对高岭土的观察相关资料,进一步了解产品。
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。
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