使用 Agilent 8800 ICP-MS/MS 在冷等离子体反应池模式下测量超纯水中的超痕量钾及其他元素

应用领域:电子/电器/半导体

检测样品:超纯水

检测项目:超痕量钾及其他元素

参考标准:/

方案摘要

采用 Agilent 8800 ICP-MS/MS 确认了水簇离子H3O(H2O)+的存在,其在冷等离子体条件下会在m/z 39 处产生 K 的背景信号。在 MS/MS 模式下,采用 NH3作为反应池气体可成功除去该水簇离子。采用  8800  ICP-MS/MS  获得的39K 的  BEC  为使用常规四极杆 ICP-MS 获得值的 1/10。这一结果展示了 MS/MS 反应模式的优势,其能阻止所有非目标离子、等离子体衍生离子进入反应池,从而避免在反应池中产生可能造成干扰的产物离子。因此,Agilent 8800 ICP-MS/MS 能够使 UPW 中 K 的 BEC 低至 30 ppq,所有其他元素(包括Ca、Fe 和 Ni)的 BEC < 150 ppq。

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