应用领域：电子/电器/半导体
检测样品：三甲基硼
检测项目：杂质气体
方案摘要
三甲基硼（TMB）为无色气体，它的熔点-161.5℃，沸点-20.2℃，在空气中能自燃，发出蓝色火焰。其主要用于有机合成，应用于太阳能、半导体等行业中。在太阳能及半导体工艺中高纯硼是重要的掺杂剂，它的纯度很大程度上决定半导体器件及太阳能电池的质量。
三甲基硼烷气体分析一直是电子气的“老大难”。小编查阅相关文献，一般高纯三甲基硼烷中杂质大概为氧气、氢气、氮气、甲烷、二氧化碳、二甲基乙基硼烷等。本文利用GC-4000A系列气相色谱，对用户提供的甲基硼气样品中二氧化碳、一氧化碳、甲烷等进行了分析，受到客户满意的评价。
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