硅烷类化合物是指硅原子上具有四个取代基的化合物，如四甲基硅烷（Si(CH3)4）、三氯硅烷（SiHCl3）等。此类化合物兼具了有机物与无机物的优良特性，被广泛应用于橡胶、树脂、玻璃纤维、陶瓷、涂料和电子元器件等领域。硅烷类化合物另一重要应用是作为衍生化试剂，可用于保护有机物中的活性基团，在分析化学和有机合成（尤其是药物合成）领域扮演着不可或缺的角色。

硅烷类化合物的分析方法主要有气相色谱法和气相色谱-质谱联用法。气相色谱法分析时，杂质的干扰常常成为影响定量的一个主要原因。本文应用气相色谱-质谱联用法对硅烷类化合物进行了分析，该方法灵敏度高、受杂质峰的干扰小，更适合硅烷类化合物的分析。