应用领域：电子/电器/半导体
检测样品： 半导体
检测项目：物理性质
参考标准：/ VBA
本文介绍运用inspeXio SMX-225CT FPD HR Plus微焦点X射线CT系统观察5G电子陶瓷滤波器内部结构。使用CT扫描后通过岛津公司独有软件MPR立即显示CT截面图，观察内部结构。通过VG软件观察杂质、裂纹及孔隙缺陷并进行尺寸测量。使用VG软件缺陷模块计算电子陶瓷滤波器中的杂质率，呈现杂质分布立体效果图。
方案摘要
