日立白光干涉仪之超光表面-应用文献-

应用领域：其他

检测样品：日立白光干涉仪之超光表面

检测项目：日立白光干涉仪之超光表面

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方案摘要

所谓超光滑表面，主要具有以下特征：表面粗糙度小于1nm(Ra)、尽可能小的表层和亚表层损伤、表面残余应力极小、晶体表面具有完整的晶体结构。通过日立白光干涉仪可以分析常见的超光滑表面性能。