Atlas在半导体晶圆检测中的应用-应用文献-

方案摘要

晶圆是制造半导体器件的基础性原材料，经过一系列复杂的半导体制造工艺最后得到芯片成品。在此过程中，对原材料晶圆的品质管控就变得非常重要，如对材料成分均匀性、元素含量，微区的颗粒、划伤或污染等精密检测，而Atlas是一款软件功能强大的微区X射线荧光光谱仪，准确度和灵敏度较高，测试速度快，同时又具有动态观察、微区分析、避免直接接触或破坏样本的无损分析等优势，能满足晶圆的分析要求。