应用领域：其他
检测样品： X射线管
检测项目：iXRF公司推出将X射线管装在SEM上面进行XRF分析
参考标准：/
实现微量元素的面分布，且能够达到10um的空间分辨率. 且对样品没有损伤，对于容易受到电子束损伤的样品，可以采用低电压扫描样品得到图像的同时，利用X射线源来激发低电压无法激发的X射线信号。
方案摘要
