应用领域：电子/电器/半导体
检测样品：过程气体
检测项目：O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC
方案摘要
电子特气的品质主要取决于其纯度和净度，一旦纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成严重浪费。为了保证产品的合格率，避免经济损失，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，就开启连续监测，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。
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