应用领域:电子/电器/半导体
检测样品:蚀刻液
检测项目:氯离子、硝酸根离子和硫酸根离子
为了确定蚀刻液的适宜组分比例及工艺条件,需要确定溶液中这些影响主要性能的阴离子含量。目前,测定溶液中的离子常用的方法为离子色谱法,本文作者根据以往经验通过对样品前处理及实验条件的摸索,建立了离子色谱法测定蚀刻液中氯离子、硝酸根离子和硫酸根离子方法,供相关人员参考。