硅（Si）丰富的储量和超高理论容量（4200mAhg-1），被认为最有希望代替石墨的负极候选材料，在各种硅氧化物（SiO、SiO2、SiOx和Si-O-C）中，其性能随着Si-O元素摩尔比而发生变化，而传统测试Si-O元素含量方法极其复杂。锂电池常用粘结剂为聚偏氟乙烯PVDF，评价PVDF性能的主要指标是分子量分布和C-F摩尔比等，传统XRF分析超轻元素（C-F）灵敏度与稳定性不足。

应用全聚焦型双曲面弯晶核心技术的单波长X射线荧光光谱仪，消除入射射线散射线背景，针对超轻元素的单色化聚焦入射技术，可以稳定与高灵敏分析超轻元素（C、N、O、F 等），样品处理简单，分析精度高，是锂电池负极材料SiO和PVDF粘结剂评价的高效测量方法。