EM科特扫描电镜应用-硅片结构

应用领域:电子/电器/半导体,纳米材料,高分子材料,失效分析,功能材料,光伏/光电材料

检测样品:硅片

检测项目:表征分析

方案摘要

纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础,按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系,这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。

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