原理

ICP-MS 是一种将 ICP 技术与质谱结合在一起的分析仪器，能同时测定几十种痕量无机元素。ICP 利用在电感线圈上施加强大功率的射频信号，在线圈包围区域形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离。在 ICP-MS 中，ICP 起到离子源的作用， 高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子。通过ICP-MS 的接口将等离子体中的等离子有效传输到质谱。质谱是一个质量筛选器，通过选择不同质荷比(m/z)的离子通过并到达检测器，来检测某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。

微波消解 ICP-MS 方法结合了微波消解方法的元素损失少和 ICP-MS 的灵敏度高、检测限低、线性范围宽、测定速度快、能同时测定多种元素等优点,是目前公认的元素分析最可靠的方法。