FT-IR自动分析系统测量硅晶圆中的元素杂质 Application Note (213362_CHN)

应用领域:电子/电器/半导体

检测样品:硅晶圆

检测项目:测量硅晶圆中的元素杂质

方案摘要

FT-IR自动分析系统测量硅晶圆中的元素杂质 Application Note (213362_CHN)

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