材料的特性对于其在现代工业中的成功应用至关重要。特殊的机械或化学性质通常取决于材料中是否含有某些元素及其含量。由于大部分工程材料来自于冶金产品，因此掌握这些纯金属或合金中微量元素的浓度至关重要。例如用于航空航天工业的镍合金，因其杰出的耐高温和低蠕变的独特性能，这些性能使得镍合金成为制造涡轮叶片的理想材料。然而，控制镍合金中的杂质元素（例如硒）是至关重要的，因为这些杂质可能会降低叶片的强度，从而导致叶片被压裂，最终完全失效。另一种重要的金属是锆，常被用于高温或高腐蚀性的环境中。由于其中子俘获的横截面较低，锆特别适用于制造核燃料棒的管状包壳。核级锆可以混合少量其它元素，例如锡、铌、铬或镍，以提高其机械性能和耐腐蚀性。但必须避免镉的存在，因镉具有吸收中子的特性，即使在痕量水平下，也将降低核燃料棒管状包壳的预期性能。如上所述，为了形成和保持材料的特殊性质，需要严格控制金属中的杂质元素。除了一些可以直接对固体材料进行检测的技术，如激光烧蚀（LA）ICP-MS 或辉光放电质谱（GD-MS），将金属或合金溶解后测定也是分析杂质元素的一种可行的方法。然而，由于金属是高基体的样品（通常高达 1,000 ppm），因此在有光谱干扰的情况下，检测痕量杂质元素是具有挑战性的。