应用领域：
检测样品：超纯半导体级硫酸
检测项目：难分析元素
方案摘要
近年来碰撞/反应池技术 (CRC) 广泛应用于四极杆 ICP-MS (ICP-QMS)，以消除 会对复杂基质中的分析物造成质谱干扰的多原子离子。利用 CRC，可以使半导 体级化学品中几乎所有待测元素的背景等效浓度 (BEC) 降低至 ppt 或亚 ppt 水平。 但是，某些样品基质中的一些多原子物质非常稳定，或者原始浓度较高，可能无 法通过池技术完全消除，因而仍会导致残留质谱干扰问题。在本应用简报中，我们采用 ICP-MS/MS 成功测定了硫酸中以前难以测定的痕量级 Ti 以及其它元素。
