应用领域:电子/电器/半导体,机械设备
检测样品:扫描台
检测项目:极低温环境下的非线性扫描现象
参考标准:N/A
通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境(4K或更低)中,压电陶瓷本身的性能发生变化,会产生下图右中的非线性扫描现象。
通过德国attocube公司的激光干涉仪,可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测(高速扫描)。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制,可解决低温下非线性扫描问题。