应用领域：其他，其他
检测样品：氟离子浓度
检测项目：氟离子浓度
参考标准：氟离子浓度
方案摘要
背景介绍 上海市某半导体厂，专注于研发和制造专业应用的晶圆。晶圆生产工艺复杂，其中蚀刻工序使用氢氟酸溶液进行蚀刻、并用高纯水清洗，在这个工序中产生了大量的高浓度含氟废水，含氟废水经过加药、混凝沉淀处理后达标排放。 该半导体厂在总排口处安装了一台 FBM-160 氟离子浓度分析仪。根据国标《污水综合排放标准》（GB8978-1996）以及上海市环境保护局发布的地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB31），该半导体厂执行三级标准，其总排口的氟限值为 20 mg/L。
