应用领域：电子/电器/半导体，纳米材料，电子/电器/半导体，纳米材料
检测样品：半导体芯片
检测项目：截面结构
方案摘要
1.独特的三离子束系统，可获得最佳的截面处理质量，并可高效获得宽且深的切割区域，大大降低工作时间。并可实现在一次处理过程中最多处理3个样品。因此对有高通量需求的实验室，徕卡EM TIC 3X是最佳解决方案。
2.可装配系统，根据您的样品制备需要，可以有针对性地在徕卡EM TIC 3X上装配一体化设计样品台－标准样品台，多样品台或冷冻样品台。
3.冷冻样品台 针对温度敏感型样品如橡胶或水溶性高分子聚合纤维等，可以使用冷冻样品台对样品进行低温下处理，获得高质量处理结果。样品托和挡板的温度都可达到-150摄氏度。
