六氟化硫是一种人工合成的惰性气体，具有良好的绝缘性能及优异的灭弧性能，是一种新一代的超高压绝缘介质材料，广泛的应用于断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线等。六氟化硫本身性质稳定，无色无臭，但是六氟化硫气体和电弧作用后，会生成某些有毒产物，在实际使用过程中必须测定这些有毒物质的含量，保护工作人员身体健康。本方法在Thermo ISQ 气质联用仪上加装了专用保温阀箱、惰性气体进样阀，用于测定六氟化硫一系列气体小分子降解产物，分析方法快速，简单、方便。由于所有管路、阀采用了保温、惰性化处理，结果重现性良好。