多毛细管由许多（poly）导向 X 射线的毛细管（Capillary）构成，使用多毛细管可将点 X 射线源发出 的 X 射线以大立体角接收并从出口得到平行的 X 射线光束。这种光学系统与传统的聚焦束光学系统 （Bragg-Brentano 法）比较，能够有效地利用从 X 射线光管产生的 X 射线，因此，可得到高衍射 X 射 线强度。光学系统采用平行束光学系统，即使样品测定面位置产生偏离，衍射角度也不发生变化。所 以，即使是曲面或凹凸不平的样品面，也可进行高灵敏度・高精度的测定，解决了在聚焦束光学系统中 容易产生衍射 X 射线强度的衰减、衍射角度偏离等问题，达到了机械部件实用测定的水平。

沸石催化剂的测定例

焊缝的测定

钢珠的残余奥氏体的测定例