3月17日， 一年一度的SEMICON China国际半导体展在上海新国际博览中心盛大开幕。北京中科科仪股份有限公司作为集成电路装备核心零部件领先供应商携多款产品参加了本次展会，向业内专家和广大客户展示了半导体设备国产化解决方案。

01芯片制程关键工艺装备核心零部件——磁悬浮分子泵

作为国内真空行业的领军者，中科科仪承担了国家科技部重大科学设备开发专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项中“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，经过技术攻关，2011年成功开发出我国第一台磁悬浮分子泵。目前，北京中科科仪股份有限公司磁悬浮分子泵经过技术迭代，产品稳定性、可靠性得到了大幅提升，已在高端镀膜、第三代半导体材料制备领域实现了批量销售，并在芯片制造核心工艺如刻蚀、离子注入设备中实现了长期无故障运行，为我国集成电路装备核心零部件国产化提供了有效解决方案。

02芯片量测及缺陷检测设备——场发射枪扫描电子显微镜

作为国内尖端科学仪器领军者，中科科仪自1975年开发出我国第一台电子扫描显微镜开始，累计在电子光学领域耕耘了四十多年，开发出多款扫描电子显微镜，是国内唯一一家规模产业化研制销售扫描电子显微镜的供应商，积累了深厚的技术功底和广泛的客户群体。中科科仪最新推出的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，达到国际一流技术水平，具有完成自主知识产权。场发射枪扫描电子显微镜的推出，打破了国外技术垄断，解决了我国半导体等高端装备制造领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题，在芯片量测、缺陷检测、工艺研究等方面有着广泛的应用。

本次SEMICON China国际半导体展近1100家展商参加，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料供应商等全产业链，并组织了先进材料、先进制造、先进封装等多个技术论坛，是全球规模最大的半导体盛会，为国内外同行搭建了探讨前沿技术和行业发展趋势的交流平台，为中国半导体产业的持续健康发展做出了不可或缺的贡献。而中科科仪作为半导体设备供应商也凭借着自身多年来在真空和电子光学领域的技术积淀，以国家队、国家人的使命担当，以攻坚克难、敢为人先的气魄，不断突破关键核心技术，为我国科技自立自强做出应有的贡献！

领域：电子/电器/半导体