1960年代，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）问世，它利用高能电子束对样品进行扫描成像。 电子与构成样品的原子的相互作用可以产生包含样品表面的形貌、成分和其他信息的信号。接下来泽攸小编将主要介绍一下台式扫描电镜的工作原理。从原理上讲，扫描电子显微镜是利用非常精细聚焦的高能电子束在样品上扫描，激发各种物理信息。 通过对这些信息的接受、放大和显示成像，可以获得对试样表面形貌的观察。扫描电子显微镜（SEM）——一种电子光学仪器，它利用很细的电子束扫描被观察样品的表面，收集电子束与样品相互作用产生的一系列电子信息，并对图像进行变换和放大。它是研究三维表面结构的有用工具。在高真空镜筒中，电子枪产生的电子束通过电子会聚透镜聚焦成细束，然后逐点扫描轰击样品表面。产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），检测器接收各种电子信号，经电子放大器放大后输入到显像管控制的显像管。显像管网格。当聚焦的电子束扫描样品表面时，样品的不同部位具有不同的物理、化学性质、表面电位、元素组成和不均匀的形貌，从而产生不同的电子束激发的电子信息，从而导致电子显像管的光束强度也不断变化，最终在显像管的荧光屏上可以得到与样品表面结构相对应的图像。根据探测器接收到的不同电子信号，可以分别得到样品的背散射电子图像、二次电子图像和吸收电子图像。 扫描电子显微镜的分辨率可达50~100Å，电子放大倍数可连续变化十倍至几十万倍。因此，可以仔细观察样品的整个表面。       

            

ZEM台式扫描电镜

领域：电子/电器/半导体,纳米材料