随着现代科技的发展，扫描电镜及其组合分析功能相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻；平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。那么扫描电镜的工作原理是怎样的呢？接下来泽攸科技小编就带大家了解一下扫描电子显微镜的工作原理。

下图就是台式扫描电子显微镜的工作原理示意图。由电子枪发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50微米的点光源，然后在加速电压作用下，经两三个透镜组成的电子光学系统，电子束被会聚成几十埃大小聚焦到样品表面。在末级透镜上有扫描线圈，它的功能是使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用，产生各种信号（二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等），这些信号被相应的接收器接收，经放大器放大处理后经过运算电路处理，呈现在显示屏上。由于扫描线圈的电流与运算电路的相应偏转电流同步，因此试样表面任意点的发射信号与显示屏上的亮度一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在显示屏上就出现一个亮点。而我们所要观察的试样在一定区域的特征，则是采用台式扫描电子显微镜的逐点成像分解法显示出来的。试样表面由于形貌不同，对应于许多不相同的单元（称为像元），它们在电子束轰击后，能发出二次电子、背散射电子等信号，依次从各像元检出信号，再一一传送出去。传送的顺序是从左上方开始到右下方，依次一行一行地传送像元，直至传送完一幅或一帧图像。采用这种图像分解法，就可以用一套线路传送整个试样表面的不同信息。为了按照规定的顺序检测和传送各像元处的信息，就要把聚得很细的电子束在试样表面做逐点逐行的运动，也就是光栅状扫描。

                 图1 台式扫描电子显微镜结构原理示意图

国产台式扫描电子显微镜

以上就是台式扫描电子显微镜的基本结构和原理介绍。扫描电子显微镜操作简单，观察方便，搭配适当的探测器后可以做微区成分分析、晶体结构分析以及各种原位实验。这也是为什么扫描电镜得到如此普遍应用的原因之一。

领域：电子/电器/半导体,纳米材料