PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点，使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。

PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术，运动无需润滑，兼容扫描电镜真空环境，并可在多种温度范围内工作；步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。

纳米探针台-技术指标（单个三轴探针台）

运动指标	尺寸参数
1. X轴移动行程：±10mm；	1. 长/宽/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm
2. Y轴移动行程：±10mm；	2. 重量：225g
3. Z轴移动行程：±10mm；
4. 运动速度：0-3mm/s；
5. 细调分辨率：0.5nm

纳米探针台-产品选型

泽攸科技提供适配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多种扫描电子显微镜型号的纳米探针台，支持定制。

领域：电子/电器/半导体,纳米材料