2023-02-02 10:23
JIB-PS500i
JEOL新一代FIB产品
全新的聚焦离子束双束产品JIB-PS500i,可在一台仪器中提供快速样品制备、微观成像和实时成分(Live EDS)分析。满足半导体、新能源等尖端材料领域精细结构和复杂工艺的表征需求。
JIB-PS500i 亮点
01
全新物镜(Power stabilization lens)
JIB-PS500i全新设计的高稳定性物镜即大幅提高了低加速电压成像能力(电子束着陆电压最低10V),又提高了低加速电压下(离子束着陆电压最低0.5kV)的离子束加工性能。新一代的JIB-PS500i可轻松制备30nm以下厚度的TEM薄片。
即使样品倾斜观察时,全新物镜仍然可以保持高分辨率(UHR模式)。
02
大面积TEM薄片自动高速制备
针对半导体行业的特定需求,JIB-PS500i配备了大束流离子枪(1pA-100nA),可以进行样品的快速大面积高精度制备。
样品:半导体器件;尺寸:200×4×15μm
对于高通量批量化需求,JIB-PS500i还可以选装自动批量制备软件STEMPLING2TM。
03
90°倾斜大样品仓设计
JIB-PS500i 的样品台可直接进行90°倾斜,硬件上实现从FIB处理到STEM观察的原位切换,同时由于新设计的STEM和二次电子探测器可以同时成像 因此可快速检查TEM薄片的制备状态。
大样品仓可放入300mm(D)×80mm(H)的样品。
4
TEM-FIB 样品转移
通过选配的JEOL透射电镜样品杆夹具和加工样品托,TEM样品制备完毕后无需转移取出即可直接插入样品杆,简单高效。
不仅如此,JIB-PS500i的SEM Center操作软件更可以一体化控制牛津公司的OmniProbe 400型纳米操作手。