质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数: 满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范围 | 2~100%F.S. |
准确度 | ±1.5%F.S. |
线性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
响应时间 | ≤7sec |
工作温度范围 | 5~45℃ |
工作压差 | <0.01MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡胶(或氯丁橡胶) |
电插头形式 | DB15 pin(Female) |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 0.92Kg |
主要特点: ★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFM
★7B型的更新换代型
★管状分流,使用寿命长