便携式气体校准仪

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北京怡孚和融科技有限公司

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产品特点

产品描述

技术参数：输入稀释气体：1个标准口输入源气体：2个标准口，一个清洁口追加输入：可2个稀释气体质量流量控制器：0-10SLM 可选量程：0-20SLM 源气体质量流量控制器：0-100SCCM 可选量程：0-1SLPM 第二个源气体质量流量控制器：0-1SLPM 流量精度：1%满量程流量重现性：0.15%满量程线性：0.5%满量程输入压力：20-35PSIG 输出接口：4个标准输出口可选：内部O3发生器

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