稀释剂OK73

属性

描述

应用	用于设备管路清洗以及除去晶圆边缘，背面，以及涂刷机容器杯上的光阻剂
产品介绍	稀释剂（OK73）：70%的 PGME( 单甲基醚丙二醇) 和 30% 的PGMEA( 丙二醇甲醚醋酸酯）组成。
别名	;